電子光學凈化車間設計方案需注意事項？
電子光學凈化車間設計需注意事項
（1）平面由工藝決定，電子凈化車間的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性，滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求；
（2）主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不宜采用內墻承重體系；
（3）大型電子行業潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造；
（4）應考慮大型生產工藝設備的安裝、維修要求，設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產環境的安裝口或檢修口；
（5）電子凈化車間按二級耐火等級設計；
（6）特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室（區）分開，該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區至少三面是敞開的，氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M，儲存區設置的雨篷應不低于3.5M；
（7）電子凈化車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料；
（8）電子光學潔凈室車間允許設空氣吹淋室，這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數為30人一間設計，當工作人員超過5人時，應設旁門，當人數太多或為了縮短通過時間，也可設遂道式吹淋室；
（9）對于潔凈等級高的潔凈車間，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠形燈具；
（10）電子潔凈室車間常要根據生產工藝要求設置防靜電環境，以便抑制靜電的產生，將已產生的靜電迅速、安全的排除；
（11）電子潔凈室車間有對防微振的特殊要求，在廠地環境上應避開振動源；
（12）電子凈化車間除有一般給排水要求外，對超大規格集成電路的用水也有標準；
電子光學潔凈車間的環境參數
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參 數 |
數 值 |
說 明 |
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截面風速/（M/S） |
0.3-0.5 0.2-0.4 |
潔凈度1-3級（ISO）潔凈室 潔凈度4-5級（ISO）潔凈室 |
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換氣次數/（次/H） |
50-60 15-25 10-15 |
潔凈度6級（ISO）潔凈室 潔凈度7級（ISO）潔凈室 潔凈度8-9級（ISO）潔凈室 |
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靜壓差/PA |
>5 >10 |
不同等級潔凈室之間以及潔凈室與非潔凈室 之間潔凈室與室外之羊 |
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溫度/。C |
18-22 16-20 按具體工程項目要求24-26 26-28 按具體工程項目要求 |
工藝無要求時的生產環境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時的生產環境 工藝無要求時的生產環境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時的生產環境 |
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相對濕度/% 冬 夏 |
30-50 按具體工程項目要求 50-70 按具體工程項目要求 |
工藝無要求時的生產環境 工藝有要求時的生產環境 工藝無要求時的生產環境 工藝有要求時的生產環境 |
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新風量/[M3/（人.H) |
40 |
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噪聲/DB(A) |
<65 |
單向流及單向流與非單向流并存的潔凈室 |
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照度/1X |
300-500 200-300 |
非單向流潔凈室主要生產用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件等除外） 其他用房 |
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照度均勻度 |
0.7 |
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靜電表面電阻率 |
1*105—1*1010 |
一級標準為1*105—1*107 |
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靜電體積電阻率 |
1*104-1*109 |
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地面對地的漏泄電阻 |
*105-1*108 |
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靜電壓 |
<50(45%相對濕度) |
4級(ISO)以上潔凈室 |
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振動速度 振動加速度 振幅 相對位移量 |
根據工藝或精密設備、儀器儀表特性確定或參照國標<隔振設計規范> |
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電磁干擾 |
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